UNIVERZITA PAVLA JOZEFA ŠAFÁRIKA V KOŠICIACH

українська
AIS2

Priame vytváranie nanoštruktúr elektrónmi

Jedným z nových smerov výskumu vedeného v rámci nášho tímu v ostatných  rokoch bolo štúdium interakcie vysokoenergetického elektrónového zväzku s tenkými vrstvami amorfných polovodičov. Bolo zistené, že tieto materiály reagujú citlivo na ožiarenie s elektrónmi a je možné vytvoriť rozmanité štruktúry na rozličných škálach od mezoskopickej až po nanoskopickú. Unikátnym výsledkom bolo objavenie vytvárania statických Taylorových kužeľov, ktoré dosiaľ neboli pozorované na mezoskopickej úrovni. Tieto objavy viedli k vývoju nových litografických metód ako napr. interferenčnej hydrodynamickej litografie a taktiež  k novým možnostiam priamej prípravy pozitívnych a negatívnych štruktúr ako aj štruktúr s vysokým prierezovým pomerom,  ktoré bude možné aplikovať napríklad pri príprave optických mriežok, pri príprave nanoemiterov a hrotov pre rastrovacie sondové mikroskopie [V. Kuzma, V. Bilanych, M. Kozejova, D. Hlozna, A. Feher, V. Rizak, V. Komanicky, Journal of Non-Crystalline Solids 456 7 (2017)].
 

 

Posledná aktualizácia: 21.05.2020